Veröffentlichung in Elektronik S. 122 - 130, Heft 8, 1996.
Inhalt: Mikromechanik- Bauelemente gewinnen in der Elektronik immer mehr an Bedeutung, da man mit ihnen u.a. Druck- bzw. Beschleunigungs - Sensorelemente entwickeln kann, die präzise arbeiten und gleichzeitig sehr kompakt sind. Anwendungen: der Maschinen- und Gerätebau. Im 1. Teil werden die physikalischen und technologischen Grundlagen von Neigungs-Sensorelementen dargestellt.
| © Christian Münker [ 04. Jul 2006 ] |
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