Präsentation auf der 2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, Deutschland, 16./17. Oktober 1995.
Inhalt: Im Vortrag wird die Entwicklung einer analogen Auswerteelektronik für mikromechanische Sensoren auf Siliziumbasis beschrieben. Am Beispiel des Ladungsverstärkers als besonders kritischer Komponente wird gezeigt, wie man ausgehend von Spezifikationen für das Gesamtsystem mit einem Top-Down Design zur Dimensionierung der einzelnen Komponenten gelangt. Der Ladungsverstärker ist durch einen externen Strom und eine externe Kapazität programmierbar, um das ASIC in einer Vielzahl von Anwendungen einsetzen zu können. Es werden die Möglichkeiten der Makro- und Verhaltensmodellierung von Funktionsblöcken genutzt, um in einer Systemsimulation das detaillierte Verhalten einzelner Blöcke zu analysieren. Durch Verwendung der analogen Verhaltensbeschreibungssprache HDL-A können die elektromechanische Verkopplung des kapazitiven Sensors und die daraus resultierenden Effekte wie Einschwingen und Auslenkung des Sensors durch die Auslesespannung in die Simulation mit einbezogen werden.
| © Christian Münker [ 04. Jul 2006 ] |
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